вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
- вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
- furnace vertical
вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с автоматической загрузкой подложек и занимает меньше места; необходимо предотвращать деформацию закрепленных горизонтально подложек; предназначена для групповой обработки.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии.
academic.ru.
2015.
Смотреть что такое "вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)" в других словарях:
вертикальная печь (в полупроводниковых приборах) — Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с… … Справочник технического переводчика
горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах) — Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с горизонтальным расположением технологического канала и вертикальным расположением подложек в кассете; используется для термического окисления, химического осаждения из паровой… … Справочник технического переводчика
